题目
多晶硅要达到电子级纯所采用的方法是A. 三氯氢硅的氢还原法B. 区域提纯法C. 直拉法D. 悬浮区熔法
多晶硅要达到电子级纯所采用的方法是
A. 三氯氢硅的氢还原法
B. 区域提纯法
C. 直拉法
D. 悬浮区熔法
题目解答
答案
A. 三氯氢硅的氢还原法
解析
本题考查多晶硅达到电子级纯所采用的方法的相关知识。解题思路是对每个选项所涉及的方法进行分析,判断其是否能使多晶硅达到电子级纯。
- A选项:三氯氢硅的氢还原法
三氯氢硅的氢还原法是目前工业上生产电子级多晶硅的主要方法。其反应原理为$SiHCl_{3}+H_{2}\stackrel{高温}{=\!=\!=}Si + 3HCl$。在这个过程中,可以通过精确控制反应条件,如温度、压力、气体流量等,以及对原料的高纯度要求,有效地去除杂质,从而得到电子级纯的多晶硅。所以该方法能够使多晶硅达到电子级纯。 - B选项:区域提纯法
区域提纯法是一种用于提纯金属或半导体材料的方法,它是通过在材料中形成一个狭窄的熔化区域,并使该区域沿着材料缓慢移动,利用杂质在固相和液相中的溶解度差异,将杂质集中到材料的一端,从而达到提纯的目的。但它一般是在已经有一定纯度的多晶硅基础上进行进一步提纯,不是最初获得电子级纯多晶硅的主要方法。 - C选项:直拉法
直拉法是一种生长单晶硅的方法,它是将多晶硅原料加热熔化,然后用籽晶慢慢提拉,使硅原子在籽晶上按一定的晶体结构排列生长成单晶硅棒。直拉法主要用于生长单晶硅,而不是直接获得电子级纯的多晶硅。 - D选项:悬浮区熔法
悬浮区熔法也是一种生长单晶硅的方法,它是将多晶硅棒在真空或惰性气氛中加热,使棒的一端熔化,利用表面张力使熔化的部分悬浮起来,然后通过籽晶提拉生长成单晶硅。同样,它主要用于生长单晶硅,并非获得电子级纯多晶硅的方法。